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本申请提供了柔性电子器件及其制备方法。柔性电子器件包括：柔性基底，所述柔性基底具有开口向上的空腔或通孔；以及电子器件，位于所述空腔或通孔上方并与所述空腔或通孔对准，其中，所述空腔或通孔的横截面尺寸小于所述电子器件的平面尺寸。该柔性电子器件实...
该专利属于诺思（天津）微系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思（天津）微系统有限公司授权不得商用。

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