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苏州腾晖光伏技术有限公司
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一种太阳能电池减反射膜结构制造技术
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下载一种太阳能电池减反射膜结构的技术资料
文档序号:21916202
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本发明提供一种太阳能电池减反射膜结构,涉及太阳能电池技术领域。该减反射膜结构包括依次形成在太阳能电池的硅基底上的第一膜层和第二膜层,第一膜层为氮化硅层,第二膜层为碳氧化硅层,第一膜层的厚度在50nm至70nm的范围内,第二膜层的厚度在10n...
该专利属于苏州腾晖光伏技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州腾晖光伏技术有限公司授权不得商用。
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