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本实用新型涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置，其可以通过简化晶圆片倒角流程使晶圆片倒角效率提高；并且可以提高晶圆片两侧倒角的平整度；包括操作台、电动机和晶圆片；还包括两组支撑架、左支撑环...
该专利属于盐城盈信通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城盈信通科技有限公司授权不得商用。

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