下载退火炉残氧量控制方法及装置的技术资料

文档序号:21908513

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本发明涉及退火工艺技术领域,尤其涉及退火炉残氧量控制方法及装置,所述方法包括:获取退火炉当前时刻下的目标温度差值,目标温度差值为退火炉的额定温度值和实际温度值之间的差值;基于目标温度差值与升温边界温度值和降温边界温度值之间的大小关系,确定与...
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