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本发明提供了一种三维微纳折纸结构的制备方法，包括：制备悬空的第一薄膜材料，并在所述第一薄膜材料上旋涂光刻胶；基于第一薄膜材料形成至少一个具有第一预定图形的第一平面结构；制备第二薄膜材料，并进行溶脱与刻蚀作为样品备用；将所述样品置于预设离子束...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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