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本发明提供了一种监控退火设备控温性能的方法，包括：提供监控晶圆，所述监控晶圆在退火前后的热波变化量与退火温度之间具有一线性关系；测量监控晶圆在设定温度下退火前后的热波，得到第一热波值和第二热波值；根据第一热波值和第二热波值的差值以及所述线性...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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