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一种对称性结构布局的压电顶针系统技术方案
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文档序号:21896428
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本发明涉及微电子封装技术领域,目的是提供一种对称性结构布局的压电顶针系统,结构紧凑,工作频率高、可靠性强、生产效率高。上述压电顶针系统包括顶针、驱动所述顶针往复运动的驱动机构和传动机构,驱动机构包括框体、设置于所述框体内的多铰链多级放大组件...
该专利属于北京派和科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京派和科技股份有限公司授权不得商用。
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