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本发明涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供扫描电子显微镜温度调节系统及方法，该扫描电子显微镜温度调节系统，包括：加热元件、第一真空腔体和第二真空腔体，还包括低温冷却装置和样品台，所述低温冷却装置用于为所述样品台提供冷量，所述加热元件用...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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