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透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置制造方法及图纸
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下载透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置的技术资料
文档序号:21896195
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本实用新型涉及材料测试领域,具体为一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置。该装置包括样品杆、转接密封带法兰套管、密封法兰及波纹管套管和X‑Y‑Z三维滑台及支架,转接密封带法兰套管固定在样品杆的尾端,其内壁与样品杆间使用密封圈进行...
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。
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