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本发明公开了一种外延片编码读取装置。所述外延片编码读取装置包括，机体；第一载料部，连接于机体，用于放置需要读取编码的晶片；校正部，连接于机体，用于对晶片位置进行调节；扫码部，连接于机体，用于读取晶片上的编码；第二载料部，连接于机体，用于放置...
该专利属于深圳市矽电半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市矽电半导体设备有限公司授权不得商用。

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