下载一种基于斜率分析的工艺参数预警方法及系统的技术资料

文档序号:21890473

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本发明公开了一种基于斜率分析的工艺参数预警方法及系统,其方法包括,从生产系统实时数据库中获取工艺参数的监测数据样本;根据监测数据样本计算得到表征工艺参数变化速度的斜率值;基于斜率值计算该工艺参数在预测窗口时间后的预测值,以及该工艺参数从当前...
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