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一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具制造技术
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下载一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具的技术资料
文档序号:21888094
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本实用新型公开了一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具,包括C型支架、底座导轨、晶圆承载台、真空吸盘、真空导管、上盖导柱、上盖、水平调节模块、下压螺杆;C型支架包括有支架底座和弯折支架,在C型支架的支架底座上设有两条底座导轨;晶圆承载台底部嵌入底...
该专利属于苏州天步光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州天步光电技术有限公司授权不得商用。
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