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本发明公开了一种基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉测量系统及测量方法，其特征是：激光器的出射光经扩束后照射测量面；测量面漫反射的光经两块分光棱镜后分成三束光；三束光分别通过反射镜、光阑、成像透镜和分光棱镜后同时成像到CCD相机上；本发明载...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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