下载一种籽晶杆的可调式稳定装置的技术资料

文档序号:21884625

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本实用新型一种籽晶杆的可调式稳定装置,套装于晶体生长炉内的籽晶杆上,关键在于:包括套装在籽晶杆上的胀紧套,胀紧套外周面上均布有3‑6根螺杆,每个螺杆上螺纹连接有旋套,旋套的顶端设置有滚珠,滚珠与圆筒形炉腔内壁接触形成籽晶杆的支撑、稳定结构。...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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