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本实用新型公开了一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置，靶座焊接在真空腔体上，密封绝缘垫安装在靶座上，靶连接法兰压住密封绝缘垫设置，连接螺丝绝缘套通过内六角螺丝固定安装在靶连接法兰的螺孔中，O型圈安装在靶连接法兰上，靶头绝缘垫安装在O型圈...
该专利属于上海子创镀膜技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海子创镀膜技术有限公司授权不得商用。

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