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一种晶棒取晶车制造技术
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下载一种晶棒取晶车的技术资料
文档序号:21882341
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本实用新型为一种晶棒取晶车,包括堆高车和取晶装置,堆高车与取晶装置连接,堆高车带动取晶装置实现上升或下降;取晶装置包括夹具组件和提升架组件;夹具组件实现对晶棒的夹紧和转动;提升架组件包括基板、升降驱动件、导向机构和提升架;夹具组件、升降驱动...
该专利属于宁夏隆基硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏隆基硅材料有限公司授权不得商用。
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