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一种碳化硅单晶生长中的籽晶固定装置，属于碳化硅材料技术领域。本发明包括上盖、上旋转定位机构、下旋转支撑机构和反应室，反应室的内壁上设置有支撑台，上旋转定位机构安装在下旋转支撑机构上，旋转定位机构置于支撑台上，上盖与反应室螺纹连接，上旋转定位...该专利属于哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司授权不得商用。