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本发明提供镀膜装置以及石英舟表面镀覆系统。镀膜装置包括喷头，喷头设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一通道、第二通道和第三通道，喷头具有第一端和第二端，第一端具有第一端面，第一端面设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一喷口、第二...
该专利属于广东先导稀材股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导稀材股份有限公司授权不得商用。

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