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本实用新型提供一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，包括腔体结构和加热部件，加热部件设置在腔体结构内部，载具也用于设置在腔体结构内部，加热部件用于围设在载具外围，以对载具进行加热；腔体结构包括腔体和顶盖，腔体一端开口，顶盖用于盖...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。

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