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本申请公开一种用于加工衬底材料的钝化层的探针。该探针包括：悬臂部分；尖端，所述尖端位于所述悬臂部分末端并从所述悬臂部分突出；所述尖端包括底座和从所述底座延伸的多个支撑臂，所述各支撑臂在远离所述底座的端部连接至针尖部；其中所述底座内设有多个电...
该专利属于季华实验室所有，仅供学习研究参考，未经过季华实验室授权不得商用。

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