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本实用新型公开了一种内平面研磨机，包括安装座、以及设置在所述安装座上的安装板，在所述安装板上设有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过减速机与研磨主轴的一端连接，在所述研磨主轴的另一端设有用于研磨内平面的研磨盘，且所述研磨主轴和研磨盘可在驱动电...
该专利属于上海致领半导体科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海致领半导体科技发展有限公司授权不得商用。

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