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一种台板表面污物检测与在线清洗的机构制造技术
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文档序号:21874998
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本实用新型涉及一种台板表面污物检测与在线清洗的机构。该机构包括检测专用激光器、清洗专用激光器、反射镜偏转系统、聚焦透镜移动系统、检测信号接收系统、中控台、工作台,反射镜偏转系统利用蜗杆旋转带动涡轮偏转实现不同入射角的激光扫描台板表面,对应的...
该专利属于南通大学所有,仅供学习研究参考,未经过南通大学授权不得商用。
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