下载硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统的技术资料

文档序号:21874489

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本申请公开一种硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统,该硅棒多线切割设备包括工作台、硅棒转换装置和线切割装置,其中,利用硅棒转换装置可将承载的硅棒在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换,利用线切割装置中的至少一第一线切割单元对应于第一切割...
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