下载一种六氟化硫废气的处理方法的技术资料

文档序号:21871308

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本发明公开了一种六氟化硫废气的处理方法,包括以下步骤:1)将六氟化硫废气通入含有脱氟剂的反应柱中,进行六氟化硫裂解反应,得到反应尾气;其中脱氟剂为改性介孔分子筛和硅粉的混合物,改性介孔分子筛为碱金属氟化物和碱土金属氧化物共同改性的介孔分子筛...
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