下载硅片抽离装置的技术资料

文档序号:21857720

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本实用新型公开了一种硅片抽离装置,包括至少一个料盒升降部与至少一个硅片分离部,料盒升降部包括料盒承载部与升降动力装置,升降动力装置带动料盒承载部做升降动作,硅片分离部包括硅片输送带与带动输送带运动的输送动力装置,硅片输送带与料盒承载部在水平...
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