下载一种圆片尺寸的测量方法的技术资料

文档序号:21849031

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种圆片尺寸的测量方法。该测量方法利用机器人根据接收到的测量信号,带动机械抓手移动真空吸头至相应的吸取工位并吸取超薄圆片;其次带动吸取的圆片移动至拍照工位,拍照机构根据不同类型的圆片提取内外径及圆心后,将数据反馈给机器人,机器人...
该专利属于中国工程物理研究院电子工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院电子工程研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。