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多孔质玻璃微粒体的制造方法和装置及玻璃母材制造方法制造方法及图纸
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文档序号:21846153
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本发明的课题在于在使用含硅有机化合物作为原料的情况下,抑制发生回火以及多孔质玻璃微粒体的品质的下降。本发明的解决手段是一种多孔质玻璃微粒体的制造方法,具有如下工序:在旋转的起始构件(M)形成由含有含硅有机化合物的原料气体生成的玻璃微粒的沉积...
该专利属于株式会社藤仓所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社藤仓授权不得商用。
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