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本申请提供一种晶体振荡器及其制作方法和设备，晶体振荡器包括：硅基衬底(10)和晶体振子(40)，且所述硅基衬底(10)开设有可供所述晶体振子(40)振动的空腔结构(101)，所述晶体振子(40)悬空设置在所述空腔结构(101)的上方，其中，...
该专利属于深圳市汇顶科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市汇顶科技股份有限公司授权不得商用。

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