下载一种制备磁性隧道结单元阵列的方法的技术资料

文档序号:21836791

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本发明公开了一种制备磁性隧道结单元阵列的方法,具体为,提供表面抛光的带金属连线Mx(x≥1)的CMOS基底;在表面抛光的带金属连线Mx的CMOS基底上,制作底电极通孔;在底电极通孔之上,制作底电极接触/底电极;在平坦化的底电极之上,沉积磁性...
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