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一种制备磁性隧道结单元阵列的方法技术
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文档序号:21836791
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本发明公开了一种制备磁性隧道结单元阵列的方法,具体为,提供表面抛光的带金属连线Mx(x≥1)的CMOS基底;在表面抛光的带金属连线Mx的CMOS基底上,制作底电极通孔;在底电极通孔之上,制作底电极接触/底电极;在平坦化的底电极之上,沉积磁性...
该专利属于上海磁宇信息科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海磁宇信息科技有限公司授权不得商用。
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