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一种高性能锆钛酸铅压电薄膜底电极的制备方法，属于薄膜压电材料制备领域。制备步骤包括：1)在SiO2/Si衬底上磁控溅射制备得到Pt‑Ti/Ti/SiO2/Si底电极材料；2)以乙酸铅、硝酸锆和钛酸四丁酯为原料，乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂，乙二...该专利属于大连瑞林数字印刷技术有限公司;大连思普乐信息材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连瑞林数字印刷技术有限公司;大连思普乐信息材料有限公司授权不得商用。