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一种底层带有凹纳米图形的LED外延结构及其制作方法技术
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下载一种底层带有凹纳米图形的LED外延结构及其制作方法的技术资料
文档序号:21836759
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本申请提供一种底层带有凹纳米图形的LED外延结构及其制作方法,所述底层带有凹纳米图形的LED外延结构,包括蓝宝石衬底以及位于所述蓝宝石衬底表面依次设置的缓冲层、凹型纳米图形层、非掺杂层、第一型半导体层、多量子阱层和第二型半导体层;其中,由于...
该专利属于江西乾照光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西乾照光电有限公司授权不得商用。
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