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LED外延片衬底结构及制作方法技术
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文档序号:21836750
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本申请公开了一种LED外延片衬底结构及制作方法,结构包括蓝宝石衬底、三角锥凸起、介质层、以及AlN膜层,其中,蓝宝石衬底包括第一表面和第二表面,第一表面上设有阵列排布的三角锥凸起,任意两个三角锥凸起之间为开口区;在第一表面远离第二表面的一侧...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。
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