下载LED外延片衬底结构及制作方法的技术资料

文档序号:21836750

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本申请公开了一种LED外延片衬底结构及制作方法,结构包括蓝宝石衬底、三角锥凸起、介质层、以及AlN膜层,其中,蓝宝石衬底包括第一表面和第二表面,第一表面上设有阵列排布的三角锥凸起,任意两个三角锥凸起之间为开口区;在第一表面远离第二表面的一侧...
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