下载单晶硅基类倒金字塔绒面结构的扩散方法的技术资料

文档序号:21836741

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本发明提供一种单晶硅基类倒金字塔绒面结构的扩散方法,包括:采用P型单晶硅片做单晶硅基底,在所述单晶硅基底正表面进行各向异性刻蚀,得到分布均匀的类倒金字塔结构;将具有类倒金字塔结构的硅片放入扩散炉中进行分步式扩散;所述分步式扩散包括温度依次升...
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