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一种高频低结温的GaN异质结场效应晶体管制造技术
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下载一种高频低结温的GaN异质结场效应晶体管的技术资料
文档序号:21836641
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本发明涉及功率半导体技术领域,具体的说是涉及一种高频低结温的GaN异质结场效应晶体管。本发明的GaN异质结场效应晶体管,主要通过采用InAlN作为器件的势垒层材料,InAlN与GaN形成异质结时没有逆压电效应,因而可以克服传统结构中AlGa...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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