下载一种碳微纳球结构及超级电容器的制备方法的技术资料

文档序号:21836288

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本发明提供了一种基于碳微纳球结构及超级电容器的制备方法,将多活性位点衬底放入微波等离子体化学气相沉积系统的反应腔体中,设置如下参数:反应腔压:10‑100torr;温度700℃‑900℃;N2流速50‑150cm...
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