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本发明的实施例公开了一种拼接光刻方法，包括：确定第一拼接曝光图形和第二拼接曝光图形，所述第一拼接曝光图形和第二拼接曝光图形具有重叠区域和拼接对准监控标记；进行所述第一拼接曝光图形的光刻曝光；利用拼接对准监控标记进行所述第二拼接曝光图形的光刻...
该专利属于李冰所有，仅供学习研究参考，未经过李冰授权不得商用。

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