下载曝光机的真空置台的技术资料

文档序号:21811058

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本实用新型提供的曝光机的真空置台,包括玻璃置板台以及薄膜密封盖,所述玻璃置板台四周贯通设有多个用于抽真空的抽气孔,所述薄膜密封盖上设有自动刮板装置,所述薄膜密封盖包括与玻璃置板台合页连接的薄膜固定框以及固定设于薄膜固定框下的曝光薄膜,所述自...
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