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公开了一种用于电容式射频微机电开关的系统和操作方法，所述电容式射频微机电开关是诸如用于超声系统中的CMUT单元。RFMEMS可以包括基板、连接到所述基板的第一电极、膜和连接到所述膜的第二电极。在一些范例中，在第一电极与第二电极和柔性膜之间存...
该专利属于皇家飞利浦有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦有限公司授权不得商用。

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