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一种合膜碳板转运轨道装置，包括底架，底架上部设置有轨道系统，轨道系统包括轨道Ⅰ、轨道Ⅱ、轨道Ⅲ、轨道Ⅳ和轨道Ⅴ；轨道Ⅰ、轨道Ⅱ和轨道Ⅴ相互平行设置，轨道Ⅱ设置在轨道Ⅰ和轨道Ⅴ之间位置；轨道Ⅲ和轨道Ⅳ相互平行设置；轨道Ⅲ设置在轨道Ⅰ和轨道Ⅴ之...
该专利属于山东晶导微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东晶导微电子股份有限公司授权不得商用。

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