下载一种实现多晶硅印刷工序异常片品质合格的工艺的技术资料

文档序号:21801728

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本发明公开的提供一种用于恢复多晶硅印刷工序异常片品质的工艺,包括以下步骤:待清洗的异常片经HCl、H2O2混合液清洗;预烧结,温度为80‑200℃;烧结,温度为485‑695℃,与现有技术相比,本发明将异常片做单独处理,调整清洗工艺,将电池...
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