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本发明公开了一种集成亚波长金属环吸收结构的太赫兹波探测微桥结构及其制备方法，包括微桥，所述微桥的桥面上设置有亚波长吸收结构层，所述亚波长吸收结构层上刻蚀有金属圆盘和围绕金属圆盘的同心金属环，所述微桥包括衬底、设置在衬底上的驱动电路、驱动电路...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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