下载气体输送装置的技术资料

文档序号:21777309

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本案提供一种气体输送装置,由至少一导流单元所构成,至少一导流单元包含入口板、基材、共振板、致动膜、压电元件及出口板依序堆叠设置,共振板与致动膜间定义第一腔室,致动膜与出口板间定义第二腔室,当压电元件驱动致动膜时,气体由入口板的进入孔进入基材...
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