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一种涡轮分子泵的泄压装置制造方法及图纸
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下载一种涡轮分子泵的泄压装置的技术资料
文档序号:2177654
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本实用新型属于抽真空设备保护技术领域,具体涉及一种机械式真空泵-涡轮分子泵的泄压装置。涡轮分子泵运转时,如果管道大气泄漏,猛增的气体所产生高气压会导致涡轮分子泵损坏。本实用新型提供了一种能够在瞬间泄压的装置。该泄压装置由两个联接法兰(1和2...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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