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本发明涉及制备多晶陶瓷膜的方法。具体地，本发明涉及在基材（10）的表面（12）上制备多晶陶瓷膜的方法，其中在表面（12）上导入粒子流并且通过所述粒子在表面（12）上的沉积而形成所述陶瓷膜，其中借助隔板沿着优选方向在表面（12）上导入所述粒子...
该专利属于西门子公司所有，仅供学习研究参考，未经过西门子公司授权不得商用。

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