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本公开涉及用于测量晶片的设备。该设备包括：运动平台，用于调节晶片的位置；第一预对准模块和第一图像识别模块，用于在测量第一晶片前，在运动平台上的第一位置处对准第一晶片；第二预对准模块和第二图像识别模块，用于在测量第二晶片前，在运动平台上的第二...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

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