下载阀模块和过滤器的技术资料

文档序号:21738823

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一种用于递送气体流的设备的过滤器,所述过滤器包括:过滤器主体,其中所述过滤器主体具有主隔间和至少部分地在所述主隔间内的子隔间,其中所述主隔间与主隔间气体入口处于流体连通,并且所述子隔间与子隔间气体入口处于流体连通;以及过滤介质,所述过滤介质...
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