下载一种具有高倍惯性力放大特性的硅微谐振加速度计的技术资料

文档序号:21735230

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本发明公开了一种具有高倍惯性力放大特性的硅微谐振加速度计,包括:质量块、桥形惯性力放大机构、音叉谐振梁。所述桥形惯性力放大机构包括:一对对称的“V”型支点机构和一对对称的输出力传递臂。两个输出力传递臂通过两根音叉谐振梁连接。整个桥形惯性力放...
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