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研磨材料再生方法技术
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文档序号:21731531
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本发明从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中得到高纯度的再生研磨材料。研磨材料是选自氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝‑氧化锆以及氧化锆中的至少一种,且经由下述工序A~D从研磨材料浆料中再生研磨材料,即,回收包含使用过的研磨材料...
该专利属于柯尼卡美能达株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过柯尼卡美能达株式会社授权不得商用。
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