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本发明提供了一种蓝宝石衬底表面斜切氧化镓探测器及其制造方法，以及氧化镓薄膜的制造方法。所述的探测器包括依次叠置的衬底、氧化镓薄膜和电极，其中氧化镓薄膜为β‑Ga2O3薄膜，衬底为Al2O3衬底。通过对Al2O3衬底进行不同角度斜切处理，能够...
该专利属于北京镓族科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京镓族科技有限公司授权不得商用。

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