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本实用新型公开了一种具有刻蚀孔及分块式上电极的微机电压电超声波换能器。换能器设有基底、结构层、底电极、压电层、上电极。换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。本实用新型将原为方形环结构的上电极及压电层切分为四...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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